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注意事项
1、该仪器属精密仪器,电路板布线密度较大,一般要求存放于较干燥的地方。若环境较潮湿,则应经常通电。
2、若真空度测试仪测试后电流值显示为零,应检查灭弧室表面是否清洁。因为表面不清洁可能使漏电的变化值大于电离电流值,这样,测量值减去漏电后小于零,而被仪器判为零。发生这种情况后,将灭弧室表面檫干净,再做试验,彩色打印真空度测试仪一般来说这样得到的真空度值较。
3、使用时,高压输出线不得触及人体,以防触电。
4、高压指示灯亮时,不要触及高压线和磁控电流线,以防触电。
5、拆装打印纸在真空度测试仪仪器先断电的情况下进行,以免损坏打印机。换纸时,将前面板打开,用食指和拇指捏紧打印机两端的两夹片轻轻拖出打印机,彩色打印真空度测试仪使出纸口略高于仪器面板,但不能拖出距离太大,将新纸端口部分剪成尖头状,插入打印机的进纸口,打开仪器电源开关,按下打印键,使纸从打印机的上端走出一段距离,插入面板出口缝导出。盖好打印机面板,装纸完毕。
6、真空度测试仪无任何用户可维修的部件,如出现故障,请专业人员维修,或与供应商,切勿擅自打开仪器,以免发生意外或造成不必要的损失。
7、本仪器真空度测量范围在9.999×10-1~1×10-5之间,离子电流测量范围在9.999×10-1~1×10-7之间当真空管的真空度大于10-2 Pa或离子电流大于500uA时建议该真空管报废。
8、若真空度测试仪真空管内压力等于大气压(即真空管破损),本仪器测量范围内, 本仪器则拒绝检测,返回初始状态。
测试方法
真空度测试常见的有破坏性测试方法和无损检测方法。
破坏性测试方法常见的是采用针头刺入容器顶空,通过压力(真空度)传感器探测获取真空度,该测试方法在一定程度上会受到管路中空气的影响,可以用于真空度的粗略抽查,在小顶空容器中表现尤为明显。典型的应用是用于粗略的进行密闭容器完整性测试(CCIT)评估,方法是将高真空的西林瓶(抽真空到接近0.1mbar)留样半年到1年,然后观察瓶内真空度。如果里面还有一定真空度,即里面的压力是微负压,说明瓶子是不漏的;相反,如果里面的压力是常压,说明瓶子是漏的。
如果是用于工艺的优化和标准的制定,通常会采用无损的真空度测试方法。无损的真空度测试方法常见的是激光法(即调频光谱法(FMS)),它的基本原理是空气中的O2、水汽、CO2会在一定波段下有激光吸收,并且会得到吸收的图谱,吸收的激光量(在图中是峰高或振幅)和物质的含量成正比,其中水汽的激光吸收图谱中的峰宽(波峰和波谷之间的横向距离)和顶空总压力成正比。因此,采用激光法能够对容器进行无损真空度测试。激光法对真空度的最小检出限大约为7mbar,因此能测试出接近真实的真空度。
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